menu
close
ระดับเวเฟอร์ EFEM รูปแบบที่รองรับ FAD5100S-WH dispensing เครื่องจักรทั้งหมดอัตโนมัติ

ระดับเวเฟอร์ EFEM รูปแบบที่รองรับ FAD5100S-WH dispensing เครื่องจักรทั้งหมดอัตโนมัติ

TOP ＞ เครื่องจักรเคลือบแบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ ＞ เครื่องมือการสมัคร ＞ ระดับเวเฟอร์ EFEM รูปแบบที่รองรับ FAD5100S-WH dispensing เครื่องจักรทั้งหมดอัตโนมัติ

ระดับเวเฟอร์ /products/full-automatic-dispensing-machine/semiconductorEFEM รูปแบบที่รองรับ FAD5100S-WH dispensing เครื่องจักรทั้งหมดอัตโนมัติ

วิธีแก้ปัญหาเวเฟอร์การควบคุมที่มีความละเอียดสูง
การทำแผนที่ (การสอดคล้องกัน SECS/GEM ) ที่อีกครั้งด้วยผลของการตรวจการผลิตสันในวัวโดยซอฟต์แวร์เวเฟอร์ที่รองรับการเรียงตามลำดับ

-1 ภาพของระดับเวเฟอร์ EFEM รูปแบบที่รองรับ FAD5100S-WH dispensing เครื่องจักรทั้งหมดอัตโนมัติ

เกี่ยวกับบริการหลังจาก

・ การสมัครที่เกี่ยวกับทางด่วนโดยการหยุดอย่างต่อเนื่องกิริยาท่าทางไม่มี
・ การจัดให้ถูกตำแหน่งที่เกี่ยวกับทางด่วนโดยการหยุดอย่างต่อเนื่องกิริยาท่าทางไม่มี:
　ฟังก์ชัน Mu SKY Capture
・ ทำให้การควบคุมปริมาณการสมัครกลายเป็นแบบอัตโนมัติ: ฟังก์ชัน DVM
・ การสมัครรูปแบบ "ไลน์ใบไม้" ในอุดมคติสร้างขึ้นโดยการหลีกเลี่ยงช่องอากาศขนาดเล็กในวัตถุ: [PAT.P] MCD ฟังก์ชัน
・ กำบังความบกพร่องในปริมาณมาก: ฟังก์ชัน AFC
・การติดตั้งเวเฟอร์การทำแผนที่ฟังก์ชัน
・EFEM และการผลิตทั้งหมดอัตโนมัติเชื่อมต่อได้
・เวเฟอร์การรองรับ FOUP
・ฟังก์ชันเวเฟอร์การทำแผนที่
・การทำแผนที่ (การรองรับ SECSGEM ) อีกครั้งของผล ※ทางเลือก

กับ EFEM ( Equipment Front End Module )
EFEM เป็นถนนของเวเฟอร์อุปกรณ์โมดูลขนสินค้าออก และอัตโนมัติ และนำเวเฟอร์ออกจากภาชนะที่เรียกว่าห่วง ( FOUP: Front Opening Unified Pod ) และตลับเทปเวเฟอร์ที่กินเวเฟอร์ ขณะคงมาตรฐานของห้องปลอดเชื้อ และสะพายบทบาทที่นำส่งถึงเครื่องมือกระบวนการ

สเปค SPECIFICATION เนื้อความโดยย่อ

ชื่อ
FAD5100S-WH เวเฟอร์ระดับ dispensing เครื่องจักรทั้งหมดอัตโนมัติ
ชนิด
FAD5100S-WH
ระบบควบคุม
การควบคุม PC/PLC (การสอดคล้องกัน SMEMA )
การทำงานการประยุกต์ใช้
เวเฟอร์ " 12 เวเฟอร์ " 8