dispensing เครื่องจักร FAD5700 WH /products/full-automatic-dispensing-machine/semiconductorEFEM รูปแบบที่รองรับชั้นดี

วิธีแก้ปัญหาการรวมกันที่เปิดยุคสมัยใหม่ของการประมวลผลเวเฟอร์
การทำแผนที่ (การสอดคล้องกัน SECS/GEM ) ที่อีกครั้งด้วยผลของการตรวจการผลิตสันในวัวโดยซอฟต์แวร์เวเฟอร์ที่รองรับการเรียงตามลำดับ

Point
・สารกึ่งตัวนำกระบวนการ (การเก็บสะสม WLP/ มันฝรั่งทอดการเสิร์ฟลูกเทนนิสใหม่ / different kind มันฝรั่งทอด) การรองรับปลายสุด
・การสมัครยอมรับโดย KOZ ของมาตรฐานสูงสุดวงการ
・EFEM และการผลิตทั้งหมดอัตโนมัติเชื่อมต่อได้
Update
・การควบคุมที่หัวหน้าหลายที่เป็นเอกเทศน้ำหนักการสมัครการติดตั้งการแก้ไขฟังก์ชันอัตโนมัติ
・UI ล่าสุดที่คนประหยัดให้การช่วยเหลือกลายเป็น

・การจัดให้ถูกตำแหน่งที่เกี่ยวกับทางด่วนโดยการหยุดอย่างต่อเนื่องกิริยาท่าทางไม่มี:
 ฟังก์ชัน Mu SKY Capture
・การชั่งวัดความสูงโดยการหยุดอย่างต่อเนื่องกิริยาท่าทางไม่มี:
 ฟังก์ชัน Mu SKY Sensing
・ทำให้การควบคุมปริมาณการสมัครกลายเป็นแบบอัตโนมัติ: ฟังก์ชัน DVM
・กำบังความบกพร่องในปริมาณมาก: ฟังก์ชัน AFC
・เวเฟอร์การรองรับ FOUP
・ฟังก์ชันเวเฟอร์การทำแผนที่
・การทำแผนที่ (การรองรับ SECSGEM ) อีกครั้งของผล ※ทางเลือก

กับ EFEM ( Equipment Front End Module )
EFEM เป็นถนนของเวเฟอร์อุปกรณ์โมดูลขนสินค้าออก และอัตโนมัติ และนำเวเฟอร์ออกจากภาชนะที่เรียกว่าห่วง ( FOUP: Front Opening Unified Pod ) และตลับเทปเวเฟอร์ที่กินเวเฟอร์ ขณะคงมาตรฐานของห้องปลอดเชื้อ และสะพายบทบาทที่นำส่งถึงเครื่องมือกระบวนการ

สเปค SPECIFICATION เนื้อความโดยย่อ

ชื่อ
DISPENS MASTER
ชนิด
FAD5700-WH
ระบบควบคุม
การควบคุม PC/PLC (การสอดคล้องกัน SMEMA )